El microscopi electrònic té diverses parts
El microscopi electrònic consta de tres parts: canó de lent, dispositiu de buit i armari d'alimentació.
1. El barril de la lent inclou principalment fonts d'electrons, lents d'electrons, porta mostres, pantalles fluorescents i detectors. Aquests components solen muntar-se en un cilindre de dalt a baix.
La lent electrònica s'utilitza per enfocar electrons i és el component més important del barril del microscopi electrònic. Generalment, s'utilitzen lents magnètiques, i de vegades també s'utilitzen lents electrostàtiques.
2. El dispositiu de buit s'utilitza per assegurar l'estat de buit al microscopi, de manera que els electrons no s'absorbiran ni es desviaran en el seu camí. Es compon d'una bomba de buit mecànica, una bomba de difusió i una vàlvula de buit, i està connectat al canó de la lent a través d'un tub d'escapament.
3. L'armari d'alimentació està format per un generador d'alta tensió, un estabilitzador de corrent d'excitació i diverses unitats de control d'ajust.
