Avantatges del microscopi electrònic d'escaneig
1. Factor d'ampliació
A causa de la mida fixa de la pantalla fluorescent del microscopi electrònic d'exploració, el canvi d'ampliació s'aconsegueix canviant l'amplitud d'exploració del feix d'electrons a la superfície de la mostra.
Si es redueix el corrent de la bobina d'escaneig, l'amplitud d'exploració del feix d'electrons de la mostra disminuirà i el factor d'amplificació augmentarà. L'ajust és molt convenient i es pot ajustar contínuament de 20x a unes 200.000 vegades.
2. Resolució
La resolució és el principal indicador de rendiment de la microscòpia electrònica d'escaneig.
La resolució ve determinada pel diàmetre del feix d'electrons incident i el tipus de senyal de modulació Codeterminació:
Com més petit sigui el diàmetre del feix d'electrons, més gran serà la resolució.
Els senyals físics utilitzats per a la imatge varien en resolució.
Per exemple, els electrons SE i BE tenen diferents rangs d'emissió i resolucions a la superfície de la mostra. La resolució de SE és generalment al voltant de 5-10nm, mentre que la de BE és d'uns 50-200nm.
3. Profunditat de camp
Es refereix al rang de capacitat d'una lent per enfocar i imatge simultàniament diverses parts d'una mostra desigual.
La lent final del microscopi electrònic d'escaneig utilitza una petita obertura angular i una llarga distància focal, de manera que es pot obtenir una gran profunditat de camp. És 100-500 vegades més gran que la profunditat de camp del microscopi òptic general i 10 vegades més gran que la profunditat de camp del microscopi electrònic de transmissió.
Les característiques destacades del SEM són una gran profunditat de camp, un fort sentit tridimensional i una morfologia realista.
Les mostres utilitzades per a la microscòpia electrònica es divideixen en dues categories:
1 és una mostra amb bona conductivitat, que generalment pot mantenir la seva forma original i es pot observar amb un microscopi electrònic sense o amb una lleugera neteja;
2 és una mostra no conductora o una mostra amb pèrdua d'aigua, alliberament de gas o deformació per contracció al buit, que s'ha de tractar adequadament abans que es pugui fer l'observació.
