Nom i funció de cada part del microscopi confocal
Basat en el principi de la tecnologia confocal, el microscopi confocal s'utilitza per mesurar la superfície de diversos dispositius i materials de precisió a nivell micro i nano, i pot imatge directament de la morfologia superficial de mostres de material, amb una resolució lateral de fins a 1 nm. i una resolució de l'eix Z de fins a 0,5 nm. No només pot mesurar la morfologia superficial de la mostra i proporcionar la funció de caracteritzar la morfologia microscòpica de la mesura de la mida del perfil, sinó que també ofereix cinc funcions analítiques principals, com ara l'anàlisi de rugositat, l'anàlisi de perfil geomètric, l'anàlisi estructural, l'anàlisi de freqüència i l'anàlisi funcional. anàlisi. També es proporcionen anàlisis de rugositat, anàlisi de perfil geomètric, anàlisi estructural, anàlisi de freqüència i anàlisi funcional.
L'anàlisi de rugositat inclou l'anàlisi de paràmetres complets segons la rugositat de la línia ISO4287, la rugositat superficial ISO25178, la planitud ISO12781, etc.; L'anàlisi de contorns geomètrics inclou mesures d'alçada del pas, distància, angle, curvatura i altres mesures de característiques i avaluació de la rectitud, la rodonesa i la tolerància de la forma; l'anàlisi estructural inclou el volum dels forats i la profunditat de l'abeurador, etc.; l'anàlisi de freqüència inclou la direcció del gra i l'anàlisi de l'espectre; l'anàlisi funcional inclou l'anàlisi de direcció i espectre de freqüència; l'anàlisi de freqüència inclou l'anàlisi de direcció i espectre de freqüència; i l'anàlisi funcional també està disponible. L'anàlisi de freqüència inclou la direcció de la textura i l'anàlisi de l'espectre; L'anàlisi funcional inclou paràmetres SK i paràmetres de volum.
L'estructura del microscopi confocal consisteix principalment en: microscopi, font de llum làser, dispositiu d'escaneig, detector, sistema informàtic (inclosa adquisició de dades, processament, conversió, programari d'aplicació), dispositiu de sortida d'imatges, dispositiu òptic i sistema confocal.
En el camp d'inspecció de ceràmica, metalls, semiconductors, xips i altres materials, el microscopi confocal té una àmplia gamma d'aplicacions. Microscopi confocal basat en el principi de microscòpia confocal, escaneig sense contacte de la superfície del dispositiu i establiment de la imatge 3D de la superfície, mitjançant el programari del sistema a la superfície del dispositiu, processament i anàlisi de dades d'imatge 3D, per tal d'obtenir el 2D, 3D paràmetres que reflecteixen la qualitat de la superfície del dispositiu, per aconseguir la mesura 3D de la morfologia de la superfície del dispositiu.
Es pot utilitzar àmpliament en la fabricació de semiconductors i la inspecció de processos d'embalatge, pantalla de vidre electrònica 3C i les seves peces de precisió, processament òptic, fabricació de micro-nano-materials, peces d'automòbils, dispositius MEMS i altres indústria de mecanitzat d'ultra precisió i aeroespacial, instituts de recerca científica i altres camps. Mesureu i analitzeu el perfil de la superfície, els defectes superficials, el desgast, la corrosió, la planitud, la rugositat, l'ondulació, la separació dels porus, l'alçada del pas, la deformació de flexió, el processament i altres característiques superficials de diversos productes, components i superfícies de materials.
