La interacció dels electrons amb la matèria és la base per a la producció de microscopis electrònics d'escaneig. Els electrons secundaris, els electrons Auger, els raigs X característics i els raigs X continus, els electrons retrodispersats, els electrons transmesos i la radiació electromagnètica en els rangs visible, ultraviolat i infraroig es produeixen quan un feix d'electrons incidents d'alta energia bombardeja la superfície de matèria. Les vibracions de la xarxa (fonons), les oscil·lacions d'electrons (plasmes) i els parells d'electró-forat es poden produir alhora. En teoria, es poden determinar diverses característiques físiques i químiques de la mostra, com ara la seva forma, composició, estructura cristal·lina, estructura electrònica i camps elèctrics o magnètics interns, aprofitant la interacció entre electrons i matèria.
Per tal de crear un feix d'electrons amb una energia, intensitat i diàmetre de punt específics a la superfície de la mostra, el canó d'electrons emet un feix d'electrons amb una energia de fins a 30 keV, que després es redueix i es focalitza per la lent convergent i la lent de l'objectiu. . El feix d'electrons incident escanejarà punt per punt la superfície de la mostra sota la influència del camp magnètic de la bobina d'escaneig en una quantitat específica de temps i espai. Els electrons secundaris són excitats de l'electrònica de la mostra com a resultat del contacte de l'electró incident amb la superfície de la mostra. La funció del col·lector secundari d'electrons li permet capturar electrons secundaris que s'emeten en totes direccions.
i després impulsat per l'elèctrode d'acceleració al centelleador per convertir-lo en un senyal òptic, abans de viatjar pel tub de llum fins al tub fotomultiplicador per experimentar una altra conversió del senyal òptic. per transmetre senyals elèctrics. L'amplificador de vídeo amplifica aquest senyal elèctric, que després es subministra a la graella del tub d'imatge per regular la seva brillantor i mostrar la imatge d'electrons secundaris que reflecteix la fluctuació de la superfície de la mostra a la pantalla fluorescent.
El procés d'imatge utilitzat en la imatge TEM, que utilitza imatges de lents magnètiques i s'acaba tot alhora, és completament diferent.
El sistema òptic electrònic, el sistema d'escaneig, el sistema de detecció de senyal, el sistema de visualització, la font d'alimentació i el sistema de buit constitueixen la majoria del microscopi electrònic d'exploració. El gràfic mostra una representació esquemàtica de la seva construcció. En proves d'adhesius, la microscòpia electrònica d'escaneig s'utilitza amb més freqüència.
